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微纳米技术（MEMS,nano technology）为微机电系统(MEMS)技术和纳米科学技术（nano science and technology, nano ST）的简称，是20世纪80年代末在美国、日本等发达国家兴起的高新科学技术。由于其巨大的应用前景，因此自问世以来微纳米技术受到了各国政府和学者的普遍重视，是当前科技界的热门研究领域之一。微纳米技术的研究和发展必将对21世纪的航空、航天、军事、生命科学和健康保健、汽车工业、仿生机器人、家用电器等领域产生深远的影响 微机电系统技术主要涉及0.1μm（1μm=10??-6?m）到数毫米尺度范围内的传感器、微执行器和微系统的研究开发，它以单晶硅为基本材料，以光刻并行制造为主要加工特点，采用微电子工艺设备结合其他特殊工艺设备作为加工手段。纳米尺度一般是指1～100nm（1nm=10 -9?m），纳米科学是研究纳米尺度范畴内原子、分子和其他类型物质运动和变化的科学，而在同样尺度范围内对原子、分子等进行操纵和加工的技术则称为纳米技术，纳米尺度的机电系统则称作纳机电系统。可见二者之间既有联系又有区别，前者是后者的基础，而后者是前者的发展方向。
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微纳米技术（MEMS,nano technology）为微机电系统(MEMS)技术和纳米科学技术（nano science and technology, nano ST）的简称，是20世纪80年代末在美国、日本等发达国家兴起的高新科学技术。由于其巨大的应用前景，因此自问世以来微纳米技术受到了各国政府和学者的普遍重视，是当前科技界的热门研究领域之一。微纳米技术的研究和发展必将对21世纪的航空、航天、军事、生命科学和健康保健、汽车工业、仿生机器人、家用电器等领域产生深远的影响微机电系统技术主要涉及0.1μm（1μm=10??-6?m）到数毫米尺度范围内的传感器、微执行器和微系统的研究开发，它以单晶硅为基本材料，以光刻并行制造为主要加工特点，采用微电子工艺设备结合其他特殊工艺设备作为加工手段。纳米尺度一般是指1～100nm（1nm=10 -9?m），纳米科学是研究纳米尺度范畴内原子、分子和其他类型物质运动和变化的科学，而在同样尺度范围内对原子、分子等进行操纵和加工的技术则称为纳米技术，纳米尺度的机电系统则称作纳机电系统。可见二者之间既有联系又有区别，前者是后者的基础，而后者是前者的发展方向。纳米材料按结构可以分为零维，一维，以及二维结构。零维主要是指纳米颗粒，如贵金属纳米粒子、半导体胶体量子点材料；一维包括纳米线、纳米棒、纳米管；二维材料主要是指超薄膜、多层膜，如石墨烯。此外在纳米材料中还有另一类尺度划分在1~10nm的准零维纳米材料，称为量子点。
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微纳米技术（MEMS,nano technology）为微机电系统(MEMS)技术和纳米科学技术（nano science and technology, nano ST）的简称，是20世纪80年代末在美国、日本等发达国家兴起的高新科学技术。由于其巨大的应用前景，因此自问世以来微纳米技术受到了各国政府和学者的普遍重视，是当前科技界的热门研究领域之一。微纳米技术的研究和发展必将对21世纪的航空、航天、军事、生命科学和健康保健、汽车工业、仿生机器人、家用电器等领域产生深远的影响 微机电系统技术主要涉及0.1μm（1μm=10??-6?m）到数毫米尺度范围内的传感器、微执行器和微系统的研究开发，它以单晶硅为基本材料，以光刻并行制造为主要加工特点，采用微电子工艺设备结合其他特殊工艺设备作为加工手段。纳米尺度一般是指1～100nm（1nm=10 -9?m），纳米科学是研究纳米尺度范畴内原子、分子和其他类型物质运动和变化的科学，而在同样尺度范围内对原子、分子等进行操纵和加工的技术则称为纳米技术，纳米尺度的机电系统则称作纳机电系统。可见二者之间既有联系又有区别，前者是后者的基础，而后者是前者的发展方向。
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微纳米技术是20世纪90世纪兴的新导课设计。如果说20世纪是微米，世纪21世纪必须是纳米的世纪。什么是那你设计呢？那的是那得从那里说起纳米是非常微小的长度单位，1mm等于1/1000000000，如果把十把直接分为纳米的小球放到乒乓球上，相当于乒乓球放在地球上可见微纳米有多小微纳米技术的研究对象一般在叶那里到100纳米之间不得用肉眼根本就不。看见