用磁控溅射法法制备二氧化硅薄膜,二氧化硅薄膜的硬度与通氧量有什么关系?
superconnect2022-10-04 11:39:541条回答
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文斌 共回答了12个问题 |采纳率83.3%- 在辉光放电的气压范围内,通氧量越大,SiO2薄膜越接近化学计量比,薄膜硬度越高.再者,可以通过提高基片温度增加薄膜硬度.
- 1年前
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