气相沉积 化学气相沉积中典型的化学反应有哪些?
0806hair2022-10-04 11:39:541条回答
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1.硅烷分解成硅和氢气 硅沉积
2.还原：四氯化硅和氢气成硅和氯化氢
3.氧化：硅烷加氧气成二氧化硅沉积和氢气
4.等等. - 1年前
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